P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdTpc-Gases - Specialty マスフローコントローラ（MFC）は，好ましくない条件のもとで腐食性ガスを制御するために使用されることが多い。この試験方法は，腐蝕によって誘発される欠陥に対する相対的耐性に基づいてMFC設計を区別するのに役立つことを意図している。

マスフローコントローラ（MFC）は，好ましくない条件のもとで腐食性ガスを制御するために使用されることが多い。この試験方法は，腐蝕によって誘発される欠陥に対する相対的耐性に基づいてMFC設計を区別するのに役立つことを意図している。

This Specification is limited to wafers which are 200 mm (~8 in

and followed by counting in accordance with the Test Method SEMI MF1810

and 45 nm Technology Generations

equipment recipes)

P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdTpc-Gases - Specialty マスフローコントローラ（MFC）は，好ましくない条件のもとで腐食性ガスを制御するために使用されることが多い。この試験方法は，腐蝕によって誘発される欠陥に対する相対的耐性に基づいてMFC設計を区別するのに役立つことを意図している。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Liquid Chemicals Committee20071220global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org199119979 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not