F04600 - SEMI F46 - Revision:Default Title この水分の発生は,多くの過ちに陥りがちであるので,スタンダードによって供給された予測水分濃度と分析によって測定されたレベルが,一致することを要求する。同意されたレベルは,標準水分に対して要求される正確さの度合いに依存して変わる。しかしどんな場合でも,測定し予測した結果は,水分基準の全レンジにわたって10%以内にあるべきである。もしそうでなければ,予測に基づき,どんな他のパラメータでも疑わしいと思われたものは,物理的測定で確証した後に,妥当性検査を繰り返すべきである。
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