E00500 - SEMI E5 - Specification for SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) StdPbc-0220 SECS-IIは,装置とホスト間でメッセージという形で情報を伝達するための方法を定義している。これらのメッセージは機能により区別され(ストリーム),ストリームの中に複数のメッセージが定義される(ファンクション)。情報の要求とそれに対応するデータの伝送はこの機能の一例である。
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