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terminology
SEMI E30 — Generic Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
このスタンダードは，あらゆる独立型装置，クラスタモジュール，クラスタツール，工場でのオートメーションセルに適用可能である。スタンダード自体は工場でのあらゆるレベルでのイベントレポートと装置コントロール階層について扱っている。
Lifetime and diffusion length are a function of temperature
SEMI E113-1101 (first published)
E09500 - SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様 Revision:SEMI E95-1101 (Reapproved 0307) - Inactive terminologyglobal Information & Control Committee20061121global Audits and Reviews Subcommittee20072www. semi. org20073CD ROM20002200111 Referenced SEMI Standards None.
