Econometric Semiconductor Forecast (ESF) Enterprise-wide License StdPbc-1017 less energy consumption and better

less energy consumption and better sheet resistance uniformity

SEMI E172-0118 (technical revision)

このガイドは，シリコンウェーハの表面ラフネスの特徴を調べ，報告するのに使用する測定方法を規定する手順を記述する。それは，さらに他のタイプの平面ウェーハ材料にも適用できる。SEMI M1に規定されているようなシリコンウェーハの研磨された表面のラフネスは一般にマイクロラフネス領域にあることに注意をすべきである。

To provide a minimal set of guidelines for the quantitative determination of a method detection limit (MDL) from data supporting a SEMI Process Chemicals or Gases specification

この仕様は，プロセス装置の一つの部分および搬送装置の一つの部分のような，装置の2つの部分の間のカセット搬送のための，パラレルI/Oインタフェースを取り扱う。

Econometric Semiconductor Forecast (ESF) Enterprise-wide License StdPbc-1017 less energy consumption and betterThis monthly report analyzes 75 data sets and reviews the key economic drivers of the semiconductor industry. It provides quarterly forecasts for silicon demand in terms of MSI. Provided in PDF format.