F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 StdPbc-0624 SEMI M31-1103E (editorial revision)

SEMI M31-1103E (editorial revision)

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このテスト方法は購入，販売，または内部管理用に研究や開発支援，製品品質のモニターや認定する際の世界中の分析測定施設共通のプロトコルと測定データを提供するために用いることができる。

SEMI S2-0818Ea (delayed revision)

Materials kinds or cleanliness are not defined

F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 StdPbc-0624 SEMI M31-1103E (editorial revision)global Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 22 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used